臭氧流量計的作用是什么？流量計就是通過流量計測量臭氧介質（氣體）的流量以達到過程控制。所以一個流量計的精度準確，顯示穩定是一個對流量計很重要的問題。流量計顯示不穩定的因素會有多種情況，需要確認是顯示儀的問題還是控制器的問題。
一、顯示儀問題
可以將顯示儀單獨檢測，將設定及流量檢測短接，調節設定旋鈕觀察是否跳動。
二、流量計問題
若能排除顯示儀問題則很可能是實際流量控制不穩或者流量控制器問題。需要排除周圍是否存在干擾：
1.可能為空間干擾，可采用適當屏蔽，遠離干擾源，選用屏蔽線的方法。
2.可能為地線干擾，檢查接地系統，注意一點接地；
3.可能為氣源內阻過大，需要降低氣源內阻(大流量時要注意開大閥門，加粗管道，以至并聯氣瓶，提高氣源供氣能力)。
4.可能為氣源壓強太低或不穩，需要提高氣源氣壓，穩定氣源壓強。
5.可能為氣體性質不同，使用空氣標定同分子量較重的氣體時也可能出現控制不穩定現象。
6.可能為污染，如氣源有粉塵，容易液化等應在通道前加裝過濾器或者適當加溫。若使用硅烷等特殊氣體，應注意管路的密封性和氣源干燥 。
7.可能為電路或調節閥故障，需要回廠檢修。

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